免責事項:これは英文の記事「Backing up ESXi host configuration fails with "Internal error".」の日本語訳です。
記事はベストエフォートで翻訳を進めているため、ローカライズ化コンテンツは最新情報ではない可能性があります。最新情報は英語版の記事で参照してください。
Vmware ESXi 7.*
RAM ディスクの /tmp の容量不足が要因です。
「ESXi host not responding , /tmp folder shows high usage(90%-100%)」を参考に /tmp ディレクトリの空き容量を増やしてください。